洁净室气流流型和送风量控制

洁净室(区)的气流流型和送风量应符合下表的要求。空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流;空气洁净度等级为4级~ 5级时,应采用单向流;空气洁净度等级为6级~9级时,应采用非单向流。[1]

表 洁净室气流流型和送风量要求

洁净室气流流型和送风量要求

注:1)换气次数适用于层高小于4.0m 的洁净室;2)应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。

特殊情况:近年在电子工厂洁净厂房或医药工业洁净厂房内,为减少建设工程造价、降低能量消耗,常常采用同时具有单向流和非单向流的混合流洁净室。例如在微电子生产洁净厂房中,要求1级~3级的空气洁净度等级的生产环境也采用混合流洁净室,即在洁净厂房的洁净生产区采用5级,仅在局部或微环境内采用1级~3级。

参考资料:
[1] 中华人民共和国工业和信息化部. 洁净厂房设计规范GB50073-2013[S]. 北京: 中国计划出版社, 2013.

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