洁净室压差控制

洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。

不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。[1]

洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。

(1)采用缝隙法来计算渗漏风量,既考虑了洁净室围护结构的气密性,又考虑了室内维持不同的压差值所需的正压风量。因此,缝隙法比按房间的换气次数估算法较为合理和精确。

单位长度缝隙渗漏空气量用公式计算是比较困难的,一般是通过不同形式的门、窗进行多次试验的数据统计后得出的。下表是对国内洁净室的20多种常用的门、窗在实验室进行了大量的试验后取得的数据,虽然近年来洁净室门窗的材料和形式有很大的发展,但目前还有部分洁净室仍然采用钢制密封门窗,故表中的数据仍可供设计时参考。

表 围护结构单位长度缝隙的渗漏风量

洁净室压差控制

缝隙法宜按下式计算:

缝隙法

式中:Q为维持洁净室压差值所需的压差风量(m³/h);α为根据围护结构气密性确定的安全系数,可取1. 1~1. 2;q为当洁净室为某一压差值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量m³/(h•m);L为围护结构的缝隙长度(m)。

(2)换气次数法,宜按下列数据选用:

压差5Pa 时,取1 次/h~2 次/h;压差10Pa 时,取2 次/h~4 次/h。

国内外洁净室压差风量的确定,多数是采用房间换气次数估算的。因为压差风量的大小是与洁净室围护结构的气密性及维持的压差值大小有关,对于相同大小的房间,由于门窗的数量及形式的不同,气密性不同,导致渗漏风量也不同,故维持同样大小的压差值所需压差风量就有所差异。因此,在选取换气次数时,对于气密性差的房间取上限,气密性较好的房间可取得小一些。

参考资料:
[1] 中华人民共和国工业和信息化部. 洁净厂房设计规范GB50073-2013[S]. 北京: 中国计划出版社, 2013.

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